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Miniaturisierung von Niederdruck-Entladungen

Im Bereich der Miniaturisierung mit dem Ziel ein Labor auf dem Chip zu entwickeln ('lab-on-a-chip') gibt es eine starke Nachfrage nach minaturisierten Entladungen für die Detektion. Die Plasmaquellen müssen so klein wir möglich sein, aber dennoch vergleichbare Parameter wie herkömmlichen laborerprobten Geräte liefern. Im Laufe des Projekts werden zwei Entladungen, die dielektrisch behinderte Entladung (DBD) und die Mikrostrukturierte Entladung (MSE) untersucht und für den Einsatz als Detektor für gasförmige, flüssige und feste Proben getestet. Die Entladungen arbeiten im Druckbereich zwischen wenigen mbar und Atmosphärendruck in Edelgasen, wie Argon oder Helium. Beide Konstruktionen erlauben die Kopplung mit einem Gaschromatograph oder Laserabtragssystemen. Als elementselektive Nachweismethoden werden die Emissions-, Absorptions- oder Massenspektroskopie eingesetzt. Beim Nachweis von halogenierten Molekülen konnten ähnlich gute Nachweisgrenzen erreicht werden, wie sie für herkömmliche Geräte angegeben werden.
 

dbd
Entladung in Neon

 

 
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